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央視看中圖|從納米到百米的精密測量儀,18年打磨硬核科技“尺”

更新時(shí)間:2024-01-11      點(diǎn)擊次數(shù):626

12月6日晚上9:21

央視財(cái)經(jīng)頻道《經(jīng)濟(jì)信息聯(lián)播》欄目

“專精特新 制造強(qiáng)國"系列節(jié)目報(bào)道

深圳市中圖儀器股份有限公司

18年用心打磨15把硬核科技“"

從納米到百米,從接觸式到非接觸式

光為,見微知著,不斷拓展工業(yè)測量領(lǐng)域全寸鏈條。

幾何寸測量的精度,直接決定了工業(yè)制造的高度。不論小如芯片,還是大如飛機(jī),精密測量儀器,就像量體裁衣時(shí)裁縫的子。深圳一家專精特新企業(yè)里有一位高人,研發(fā)出了能測量從1納米到1百米的工業(yè)“子"。

馬俊杰從業(yè)18年來,雖然只做了15臺(tái)測量儀,但每一臺(tái)都*具特色。其中測量最快的一臺(tái),叫閃測儀。

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深圳中圖儀器股份有限公司董事長 馬俊杰:我手上拿的就是手機(jī)上一塊精密的結(jié)構(gòu)件,幾秒測量,幾百個(gè)寸直接顯示出來,而且達(dá)到了微米級(jí)的精度。

馬俊杰畢業(yè)于清華大學(xué)精密儀器專業(yè),后在研究所工作期間,他發(fā)現(xiàn)實(shí)驗(yàn)室里的精密儀器全都來自國外,這讓他產(chǎn)生了創(chuàng)業(yè)做國產(chǎn)幾何測量儀的想法。這臺(tái)指示表檢測儀,是馬俊杰當(dāng)年研發(fā)出的第一款精密測量儀器。

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但這些都還不是精度最高的“子"。這枚看似光滑的晶圓,放在顯微測量儀下,表面變得錯(cuò)落有致起來,經(jīng)過測量,高度差僅有6.1納米。但它還將被切割成更小的方塊,才能使用。

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深圳中圖儀器股份有限公司董事長 馬俊杰:這臺(tái)儀器它的精度非常高,達(dá)到了0.1納米的分辨率,半導(dǎo)體領(lǐng)域已經(jīng)大量使用。

這家企業(yè)的測量絕活可不止于微小領(lǐng)域。馬俊杰的團(tuán)隊(duì)潛心研究6年,研發(fā)出可測百米寸的激光跟蹤儀,解決了大型、超大型工件或裝置的高精度測量問題。

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深圳中圖儀器股份有限公司副總經(jīng)理 張和君:這是一架飛機(jī)模型,關(guān)鍵部件測量精度必須控制在0.1毫米至0.2毫米之間,飛機(jī)的裝配才能保證嚴(yán)絲合縫。激光跟蹤儀是**同時(shí)具有微米級(jí)別測量精度,和百米工作空間的高性能光電儀器。

本期專精特新·高人:18年用心打磨15把硬核科技“",從納米到百米,從接觸式到非接觸式。光為,見微知著,不斷拓展工業(yè)測量領(lǐng)域全寸鏈條。

來源:央視財(cái)經(jīng)。

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