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以激光干涉技術(shù)為核心，SJ6000工業(yè)激光干涉測(cè)量?jī)x機(jī)床精度測(cè)試的分辨率可達(dá)納米級(jí)。采用的激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，并且干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免了干涉鏡受熱影響，保證了干涉光路穩(wěn)定可靠?？蓹z測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。

SJ6000高性能激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

SJ6000激光干涉儀測(cè)量系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測(cè)，也具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

國(guó)產(chǎn)GTS激光檢測(cè)跟蹤儀具有高精度、高效率、實(shí)時(shí)跟蹤測(cè)量、安裝快捷、操作簡(jiǎn)便等特點(diǎn)，可用于尺寸測(cè)量、安裝、定位、校正和逆向工程等應(yīng)用，是功能強(qiáng)大的計(jì)量檢測(cè)工具，適合于大尺寸工件配裝測(cè)量。

GTS國(guó)產(chǎn)激光跟蹤檢測(cè)儀可以代替關(guān)節(jié)臂等其他現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量設(shè)備；可用于生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)工裝檢測(cè)以及白車身和沖壓件測(cè)量等。也能檢測(cè)出各部件行走精度，比如機(jī)床導(dǎo)軌直線度，轉(zhuǎn)臺(tái)軸向，相互垂直度，徑向跳動(dòng)等。實(shí)際加工過程中可以使用激光跟蹤儀實(shí)測(cè)被加工零件尺寸，以此做為機(jī)床加工進(jìn)給量的依據(jù)，此時(shí)激光跟蹤儀由檢測(cè)設(shè)備轉(zhuǎn)變?yōu)楣に囋O(shè)備，用于制造機(jī)床加工。

SJ6000機(jī)床精密測(cè)量激光干涉儀具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。以光波為載體，其光波波長(zhǎng)可以直接對(duì)米進(jìn)行定義，是一款高精度、高靈敏度的測(cè)量?jī)x器，在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。