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SuperViewW1三維光學(xué)輪廓儀除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外,具有的測量晶圓翹曲度功能,非常適合晶圓,太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量,應(yīng)變測量以及表面形貌測量。是目前三維形貌測量領(lǐng)域高精度的檢測儀器之一。
3d光學(xué)干涉輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中,對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
中圖儀器SJ5730接觸式3D輪廓儀是一款集成表面粗糙度和輪廓測量的測量儀器,該儀器具有12mm的粗糙度測量范圍,分辨率達到1nm,適合測量大曲面上的表面粗糙度,同時具備軸承輪廓度評價功能,能夠滿足軸承行業(yè)的測量需求。
SuperViewW1光學(xué)三維輪廓儀采用白光干涉技術(shù),結(jié)合具有抗噪性能的3D重建算法,具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點,測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內(nèi),確保了高款率檢測。并且其特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。
SJ5730高精度輪廓度測量儀是測量各種機械零件素線形狀和截面輪廓形狀的精密設(shè)備。該儀器工作臺采用高精度的橫向氣浮道軌和滾動垂直道軌,移動精度高、穩(wěn)定性好、壽命長;測量效率高、操作簡單、適用于車間檢測站或計量室使用。
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