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OP光學(xué)輪廓儀主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓，也能測量晶圓翹曲度，適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應(yīng)變測量以及表面形貌測量。也稱為白光干涉儀 (WLI)，是一款以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，非接觸測量樣品表面形貌的光學(xué)測量儀器。測量三維形貌的系統(tǒng)原理是在視場范圍內(nèi)從樣品表面底部到頂部逐層掃描，獲得數(shù)百幅干涉條紋圖像，找到該過程中每一個像素點(diǎn)處于光強(qiáng)最大時的位置，完

除了用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，W1三維光學(xué)輪廓儀具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應(yīng)變測量以及表面形貌測量。是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。

中圖儀器SuperViewW1光學(xué)表面3d輪廓測量儀器能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作，可以有效隔絕地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動，同時內(nèi)部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動，確保儀器在車間也能正常工作。

SJ5800國產(chǎn)粗糙度輪廓檢測儀操作便捷，功能廣泛，可對各種工件輪廓的幾何參數(shù)進(jìn)行測量。系統(tǒng)實(shí)時顯示掃描輪廓曲線圖，一次測量即可評價輪廓尺寸和粗糙度參數(shù)，對測量得到的零件輪廓形狀數(shù)據(jù)，用擬合的方法來評定圓弧、角度、傾斜、距離等輪廓尺寸及形位公差?？蓽y量圓弧半徑、直線度、凸度、溝心距、傾斜度、垂直距離、水平距離、臺階等形狀參數(shù)，還可對各種零件表面的粗糙度進(jìn)行測試；

除主要是用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，SuperViewW1便攜式3D輪廓測量儀具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應(yīng)變測量以及表面形貌測量。通過利用接觸式及非接觸式雙模式基于技術(shù)上的優(yōu)勢獲得獲得全面的表面特性。既可以用于科學(xué)研究，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測。

?W1光學(xué)3d表面輪廓儀器能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)，除主要是用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應(yīng)變測量以及表面形貌測量。