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SuperViewW1白光干涉三維光學輪廓儀以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖白光干涉儀采用了CCD取代了顯微鏡中的目鏡，可以直接從電腦上實時視頻窗口觀察樣品表面形貌，也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌，樣品表面形貌展示得更加清晰，圖像更大，觀察更加方便。

W系列白光干涉儀由照明光源系統(tǒng)，光學成像系統(tǒng)，垂直掃描系統(tǒng)以及數據處理系統(tǒng)構成。是目前三維形貌測量領域高精度的檢測儀器之一。在微電子、微機械、微光學等領域，白光干涉測量儀器可以提供更高精度的檢測需求。

白光干涉顯微測量儀，非接觸、三維白光掃描干涉儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。

一鍵批量分析白光干涉測頭,是一款非接觸式精密光學測頭，其基于白光干涉和精密掃描研制而成，主要由光學干涉系統(tǒng)和Z向掃描系統(tǒng)組成，具有體積小、重量輕、便攜的特點

微小尺寸測量儀，可用于精密機械、光通訊器件、精密模具、磁性材料、精密沖壓、手機精密配件、醫(yī)療器械、鐘表、刀具、計量檢測等領域。