簡(jiǎn)要描述:?現(xiàn)有的接觸式測(cè)量方法具有測(cè)量速度慢、易劃傷測(cè)量表面的缺點(diǎn),而單一的光學(xué)非接觸測(cè)量方法難以完成對(duì)大面形或曲率較大的高反射曲面零件三維形貌的高精度測(cè)量。SuperView W1白光干涉儀檢測(cè)儀器實(shí)現(xiàn)了超精密加工高反射曲面三維形貌的高精度非接觸測(cè)量。
產(chǎn)品分類
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品牌 | 中圖儀器 | 產(chǎn)地 | 國(guó)產(chǎn) |
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加工定制 | 否 |
自動(dòng)拼接功能的使用,即不管是在光滑還是粗糙、平面亦或是異形結(jié)構(gòu),當(dāng)必須測(cè)量超出適配鏡頭下的單視場(chǎng)區(qū)域時(shí),都可以采用自動(dòng)拼接,而中圖儀器SuperView W1白光干涉儀檢測(cè)儀器,可根據(jù)不同表面特點(diǎn)進(jìn)行重建算法的切換,無論何種形貌,都可生成“天衣無縫"的3D全景。
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現(xiàn)有的接觸式測(cè)量方法具有測(cè)量速度慢、易劃傷測(cè)量表面的缺點(diǎn),而單一的光學(xué)非接觸測(cè)量方法難以完成對(duì)大面形或曲率較大的高反射曲面零件三維形貌的高精度測(cè)量。白光干涉儀實(shí)現(xiàn)了超精密加工高反射曲面三維形貌的高精度非接觸測(cè)量。
SuperView W1白光干涉儀檢測(cè)儀器參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào):SuperView W1系列
產(chǎn)品名稱:光學(xué)3D表面輪廓儀
影像系統(tǒng):1024×1024
光學(xué)ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可選)
干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)
XY平臺(tái):尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動(dòng)、手動(dòng)同時(shí)具備,均為光柵閉環(huán)反饋
Z軸行程:100mm,電動(dòng)
Z向掃描范圍:10mm
Z向分辨率:0.1nm
水平調(diào)整:±5°手動(dòng)
粗糙度RMS重復(fù)性:0.005nm
臺(tái)階高測(cè)量:準(zhǔn)確度0.3%,重復(fù)性0.08% 1σ
主要特點(diǎn):非接觸式無損檢測(cè),一鍵分析、測(cè)量速度快、效率高
生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司
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