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SuperViewW系列白光干涉三維形貌儀輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理，特殊光源模式可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。

SuperViewW白光干涉表面形貌3D測量儀利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精細(xì)表面輪廓測量儀器，主要用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量。

SuperViewW白光干涉3D表面形貌測量儀基于白光干涉原理，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。它具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測量單個精細(xì)器件的過程用時短，確保了高款率檢測。

SuperViewW納米級白光3d表面輪廓檢測儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測量單個精細(xì)器件的過程用時短，確保了高款率檢測。特殊光源模式可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。

SuperViewW系列白光干涉儀三維表面測量系統(tǒng)以白光干涉技術(shù)為原理結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

SuperViewW白光干涉三維表面測量儀以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。