中圖儀器SuperViewW1白光干涉測量檢測儀以白光干涉技術(shù)原理,對(duì)各種精密器件表面進(jìn)行納米級(jí)測量的儀器,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。
中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀3d輪廓薄膜厚度儀應(yīng)用領(lǐng)域廣泛,操作簡便,可自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。它通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。
中圖儀器SuperViewW1白光干涉三維形貌測量儀用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測量,以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)。
中圖儀器SuperViewW1白光光學(xué)干涉儀品牌采用了掃描模塊和內(nèi)部抗振設(shè)計(jì),可實(shí)現(xiàn)高測量精度重復(fù)性和高粗糙度RMS重復(fù)性。采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統(tǒng),保證測量精度高.
SuperViewW1白光干涉儀半導(dǎo)體測量儀器具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn),測量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)短,確保了高款率檢測。除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外,具有的測量晶圓翹曲度功能,非常適合晶圓,太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量,應(yīng)變測量以及表面形貌測量。
SuperViewW系列3d白光干涉儀是以白光干涉技術(shù)原理,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,是一款用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的納米級(jí)測量儀器。
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